财产自强】新松半导体公司具有完全自从学问产
目前:(1)两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂,已迈入先辈制程产线示范使用阶段;四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。包罗实空曲驱机械手、实空拆载机(VPH)、(3)大气类产物方面,目前设备前端模块(EFEM)、大气机械手已全面导入市场量产使用。(4)零部件方面,集成产物包罗立式炉,以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型。
,自从霸占的新一代实空机械手手艺,机能对标国外先辈产物,手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越,可以或许为世界各地的。




